公司简介 - 北京中科信半导体股份有限公司

2025年

国家级专精特新"重点小巨人"

完成B轮融资，资本实力进一步增强
量产突破1亿片，创历史新高
累计交付机台超230台
获评国家级专精特新"重点小巨人"企业

重点小巨人 B轮融资 1亿片

2024年

国资委首批"启航企业"

入选国资委首批"启航企业"名单
高能离子注入机荣获国资委熠星大赛一等奖
量产超5000万片
累计交付机台超150台

启航企业熠星大赛 5000万片

2023年

获评央企十大国之重器

离子注入机获评"2023年度央企十大国之重器"
获评国家级专精特新"小巨人"企业
量产超1500万片
持续深耕核心技术突破

国之重器小巨人 1500万片

2022年

7nm先进工艺样机研制成功

7nm及以下先进工艺制程完成样机研制
完成首轮引战融资
获评北京市"专精特新"中小企业
中束流产品量产超100万片

7nm 首轮引战专精特新

2021年

北京市高新技术企业认定

获得北京市高新技术企业认定
量产突破1000万片里程碑
持续扩大产品市场份额
技术创新能力获权威认可

高新技术企业 1000万片

2020年

荣获北京市科学技术进步一等奖

荣获北京市科学技术进步一等奖
中束流注入机被评为北京市新技术新产品
低能大束流注入机被评为中国半导体创新产品和技术

科技进步一等奖创新产品

2019年

28nm工艺全覆盖

实现28nm工艺节点全覆盖
量产突破3000万片
累计交付机台超100台
产品成熟度与可靠性大幅提升

28nm 3000万片 100台

2018年

烁科中科信注册成立

烁科中科信正式注册成立
公司进入新的发展阶段
加速推进离子注入机产业化进程
"十二五"02专项45-22nm低能大束流离子注入机研发及产业化

烁科中科信 02专项低能大束流

2016年

第一台大束流离子注入机进入中芯国际

第一台大束流离子注入机成功进入中芯国际验证
标志着公司产品在主流代工厂获得认可
产品线进一步扩展至大束流领域

中芯国际大束流

2014年

第一台中束流离子注入机进入中芯国际

第一台中束流离子注入机进入中芯国际验证
公司产品首次进入国内顶级晶圆代工厂
打破国外设备在主流产线的垄断地位

中芯国际中束流国产替代

2010年

"十一五"02专项研发及产业化

承担"十一五"02专项：90-65nm大角度离子注入机研发及产业化
标志着公司技术能力获得国家层面认可
为后续先进制程设备研发奠定基础

02专项 90-65nm

2006年

十五863项目成功验收

十五863计划：100nm大角度离子注入机项目成功验收
国内首台自主知识产权的大角度离子注入机
填补了国内该领域的技术空白

863计划 100nm 首台自主

2003年

北京中科信注册成立

北京中科信在科技部支持下正式注册成立
公司专注于集成电路离子注入机的深入研究
具备了坚实的离子注入机研发和产业化基础

公司成立科技部

1964年

48所成立——中国三束装备摇篮

中国电子科技集团公司第四十八研究所成立
被誉为中国三束（离子束、电子束、光束）装备的摇篮
为国产离子注入机事业奠定了技术和人才基础

48所三束摇篮

中束流离子注入机 CI P900!

低能大束流离子注入机 CI C60XP!

中能大束流离子注入机 CI C200!

高能离子注入机 CI E8000!

SiC高能离子注入机 CI E4500HT!

高能离子注入机 CI-S0500AS!

定制化研发注入服务!

化合物半导体注入方案!

成像传感器注入方案!

功率器件注入解决方案!

先进逻辑与存储芯片注入方案!

SiC 功率器件注入解决方案!

发展历程