公司简介 - 北京中科信半导体股份有限公司

2026

烁科中科信完成股改，更名北京中科信半导体股份有限公司

2026年3月更名为北京中科信半导体股份有限公司
中国电子专用设备工业协会第十届理事会理事单位

2025年

军民两用创新大赛银奖，重点“小巨人”称号

获评国家级专精特新"重点小巨人"企业
完成B轮融资，资本实力进一步增强
高能离子注入机入选《中央企业科技创新成果推荐目录（2024年版）》

军民融合创新大赛银奖重点小巨人资质再升级

2024年

国资委首批"启航企业"

成为国资委首批启航企业

高能离子注入机荣获第四届中央企业熠星创新创意大赛一等奖
先进制成高温离子注入设备研发荣获全国颠覆性技术创新大赛荣誉奖
获评北京市企业技术中心
获评2024年度卓越创新企业

央企荣誉启航企业

2023年

晋升国家级“小巨人”

获评国家级专精特新“小巨人”企业
大束流离子注入机入选为《中央企业科技创新成果产品手册（2022年版）》

国家级小巨人

2022年

获评北京市"专精特新"中小企业

获评北京市"专精特新"中小企业
完成引战增资，资本结构进一步优化

专精特新引战增资

2021年

北京市高新技术企业认定

获得北京市高新技术企业认定
集成电路用大束流离子注入机国产化荣获中国电子学会科技进步奖三等奖
高能离子注入机、中能大束流离子注入机荣获北京市首台套重大技术装备

高新技术企业企业资质升级

2020年

荣获北京市科学技术进步一等奖

大束流离子注入机装备及工艺研发荣获北京市科学技术进步一等奖
大束流离子注入机、中束流离子注入机取得北京市新技术新产品（服务）证书
低能大束流离子注入机荣获中国半导体行业协会第十四届中国半导体创新产品和技术
一种宽带离子束传输方法及离子注入机荣获电科集团科学技术奖专利优秀奖

科技进步一等奖政府荣誉新技术新产品认证

2019年

烁科中科信正式注册成立

2019年6月，中国电科48所和北京中科信离子注入机业务战略整合成立北京烁科中科信电子装备有限公司

CI系列机型品牌注册行业创新认可

2016年

第一台大束流离子注入机进入中芯国际

第一台大束流离子注入机成功进入中芯国际验证
标志着公司产品在主流代工厂获得认可
产品线进一步扩展至大束流领域

中芯国际大束流

2014年

完成90-65nm大角度离子注入机研发及产业化验收

完成90-65nm大角度离子注入机研发及产业化验收

90-65nm节点产业化推进

2010年

第一台中束流离子注入机进入中芯国际

实现首台中束流离子注入机销售
客户为国内龙头晶圆厂中芯国际

中束流机型中芯国际导入商业化突破

2008年

国内首台自主知识产权的大角度离子注入机研制成功

填补了国内该领域的技术空白

首台自主填补国内空白

2003年

北京中科信注册成立

北京中科信在科技部支持下正式注册成立
公司专注于集成电路离子注入机的深入研究
开启公司化独立运营新阶段

公司成立政策支持产业化起步

1960年

48所成立——中国三束装备摇篮

中国电子科技集团公司第四十八研究所成立
成功研发十余种机型
累计销售数十台套设备，为后续离子注入装备发展奠定了深厚的技术积累

48所技术积累早期市场开拓

中束流离子注入机CI P900

中束流离子注入机CI A900XP

中束流高温离子注入机CI P900 HT

中束流MRK离子注入机 CI P900MRK

中束流碳化硅离子注入机CI P900SiC

新一代低能大束流离子注入机CI C60XP

发展历程