离子注入机
中束流注入机
高能注入机
SiC注入机

 

企业愿景

北京中科信半导体股份有限公司是国内领先且产品门类齐全的集研发、制造、服务于一体的集成电路领域离子注入机供应商,公司的目标是成为国际一流的集成电路装备供应商和服务商。

公司概述

北京中科信半导体股份有限公司成立于2019年6月,以中国电科48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成,是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市北京经济开发区(通州)兴光二街六号,在长沙设有分公司。

中科信产品聚焦集成电路主要应用领域,兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域,形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。累计出货300多台,其中CI P系列中束流离子注入机、CI C系列大束流离子注入机已有将近200台进入国内最先进的极大规模集成电路生产线,12英寸晶圆量产超8000万片,工艺段覆盖至14nm。

离子注入机

创新实力与荣誉

中科信目前累计获得授权专利102项,团队现有人员600余人,硕士以上学历占23%以上。公司是国家级高新技术企业、第五批专精特新"小巨人"企业。

"大束流离子注入机项目"获得"北京市科技进步一等奖",大束流离子注入机入选《中央企业科技创新成果推荐目录(2022年版)》。2024年初,国产离子注入机代表中国电科成功进入"2023年度央企十大国之重器"榜单,综合排名第三位。

         
重点荣誉
国资委首批启航企业
公司成功入选国资委首批启航企业名单
熠星创新创意大赛一等奖
"高能离子注入机研发与产业化"项目荣获国资委第四届中央企业熠星创新创意大赛一等奖
北京市科技进步一等奖
"大束流离子注入机项目"获得北京市科技进步一等奖
军民两用技术创新应用大赛银奖
"碳化硅离子注入机"项目荣获该奖项
国家级专精特新"小巨人"企业
第五批国家级专精特新"小巨人"企业认定