可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
CI P900MRK作为CI P900系列延伸机台,其核心技术是高端半导体离子注入机核心配套部件技术升级。
可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
低能大束流迭代CI C60XP,主要是基于本公司大束流离子注入CI C60的平台,在硬件上优化光路上的核心模块,在软件上开发更友好更安全的操作系统,从而实现低能量、大剂量的条件下,更均匀、更安全、更高效的离子注入掺杂工艺需求。
ABOUT US
北京中科信半导体股份有限公司成立于2019年6月,以中国电科48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成,是国内集成电路高端工艺装备的领先企业。公司总部位于北京市北京经济开发区(通州)兴光二街六号,在长沙设有分公司。
中科信半导体截至2025年产品聚焦集成电路主要应用领域,兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域,形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。CI P系列中束流离子注入机、CI C系列大束流离子注入机已有将近200台进入国内最先进的极大规模集成电路生产线。
![]()
截至2025年底,中科信半导体累计获得授权专利102项。公司是国家级高新技术企业、第五批专精特新"小巨人"企业。
"大束流离子注入机项目"获得"北京市科技进步一等奖",大束流离子注入机入选《中央企业科技创新成果推荐目录(2022年版)》。