提供小批量、多品种注入服务,支持特殊离子种类和能量要求!
支持 4/6 英寸化合物半导体晶圆,工艺温度范围 RT~600°C!
低金属污染控制 (< 5E10 atoms/cm³),低损伤注入工艺!
兼容 6/8 英寸晶圆,适用于 FRD、IGBT、MOSFET 等器件!
支持 12 英寸晶圆,能量范围 2keV~3MeV,剂量精度 < 1%!
适用于 SiC SBD、SiC MOSFET 等器件量产,注入均匀性 < 2%,产能 > 30wph!
NEWS & EVENTS
2024年3月20日至22日,全球半导体行业盛会SEMICON China 2024在上海新国际博览中心隆重举行。中科信半导体携全系列离子注入机产品重磅亮相,吸引了大批行业专家、客户及合作伙伴驻足交流。
本次展会,中科信半导体展台位于N5馆核心展区,面积达108平方米。展台以"自主创新、装备强国"为主题,通过实物模型、多媒体演示、技术讲解等多种形式,全面展示了公司在离子注入机领域的最新技术成果。
| 展会名称 | SEMICON China 2024 |
| 展会日期 | 2024年3月20日 - 3月22日 |
| 展会地点 | 上海新国际博览中心 N5馆 |
| 展位编号 | N5-327 |
| 主办单位 | SEMI(国际半导体产业协会) |
中科信半导体现场展出了六大核心产品系列,涵盖从低能到高能的完整离子注入解决方案:
中束流离子注入机 CI P900 — 中低剂量掺杂工艺的成熟方案
低能大束流离子注入机 CI C60XP — 超低能量高效率注入
中能大束流离子注入机 CI C200 — 覆盖中能注入工艺需求
高能离子注入机 CI E8000 — MeV级高能注入
SiC高能离子注入机 CI E4500HT — 三代半导体专用
高能离子注入机 CI-S0500AS — 优异的注入均匀性
展会期间,公司组织了多场技术交流会和新品推介会,技术专家就离子注入工艺发展趋势、SiC器件注入解决方案等热门话题进行了深入解读。同时,现场设置了互动体验区,让参观者直观感受离子注入技术的魅力。
三天的展会期间,中科信展台累计接待专业观众超过3,000人次,与多家国内外知名半导体企业达成了初步合作意向。多位行业专家对中科信离子注入机的技术水平和产品成熟度给予了高度评价。
中科信半导体将继续参加2024年下半年的多个重要行业展会,包括IC China 2024、CSIA年会等。敬请关注后续活动预告,期待与您在展会现场深入交流。