可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
CI P900MRK作为CI P900系列延伸机台,其核心技术是高端半导体离子注入机核心配套部件技术升级。
可用于中低剂量掺杂和精确角度与剂量控制的工艺步骤,如阈值电压调整注入,沟道阻隔注入,晕注入、袋注入等工艺,整机完全适应大生产制造,具备自优化及自适应控制功能。
低能大束流迭代CI C60XP,主要是基于本公司大束流离子注入CI C60的平台,在硬件上优化光路上的核心模块,在软件上开发更友好更安全的操作系统,从而实现低能量、大剂量的条件下,更均匀、更安全、更高效的离子注入掺杂工艺需求。
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北京烁科中科信离子注入装备获评“2023年度央企十大国之重器”!
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1月2日,由“国资小新”联合国务院国资委网站、《国资报告》杂志推出的“2023年度央企十大国之重器”评选结果揭晓。此次评选是从中央企业建设的多个重大项目中选出的20项大国重器,通过专家评审以及“国资小新”和国资报告新媒体平台的投票结果确定了最终榜单。
经过激烈角逐,北京烁科中科信离子注入装备成功进入“2023年度央企十大国之重器”榜单前十名,获评2023年度央企十大国之重器。
离子注入机是芯片制造过程中的关键装备,关乎集成电路产业安全。北京烁科中科信承担着做强做优国产离子注入装备的职责使命,经过多年发展,积累了深厚的研发经验、丰富的行业资源,组建了稳定的技术、业务团队,树立了鲜明的企业形象,形成了全系列产品布局,成为了适配我国集成电路行业发展的高科技公司。未来,公司将继续在离子注入装备赛道全力加速,不断激发创新活力,加强技术研发,把科技的命脉掌握在自己手中,更好地维护产业链安全,铸魂“中国芯”!
(点击图片了解榜单详情)